Mikroelektronik sektöründe nano ölçü birimleri esastır. Bu sebeple mikroelektronik sektöründe partiküller üretim proseslerine engel olmakta, ölçülerde sapmalara ve bozulmalara neden olmaktadır. Kusursuz üretim ve arızalarının önüne geçebilmek adına doğru filtrasyon sistemleri kullanılmalıdır.